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    無塵室對應

    超精密減壓閥RR系列

    特長

    利用其他減壓閥的外部先導壓力,進行出口壓力可變設定的空氣壓力操作的減壓閥。
    壓力控制方式是因為采用滾動膜片與計量膜合的伺服平衡方式,可以實現無塵室對應的精密的壓力調整的減壓閥。

    無塵規格
    因為部品是不銹鋼及氟橡膠,其他的部品全部為非電解鍍鎳處理,產生的雜質非常少。
    歧管安裝對應
    歧管連接配管可能。
    排氣口裝備
    因為排氣孔,溢流孔,可以連接排氣用配管;排氣空氣及溢流空氣都可以排到無塵室以外。
    高精度
    可以實現感度0.1%F.S.,反復再現性±0.1%F.S.的高精度控制。

    PAGETOP

    規格

    RR-8
    使用流體 清潔壓縮空氣
    壓力設定范圍 (MPa) 0.014~0.84
    進口壓力設定范圍 (MPa) 1. Max.
    排氣的有無
    反復再現性 (%.F.S) ±0.1以內
    感度 (%.F.S) 0.1以內
    空氣消費量 (Nl/min) 3.7以內
    使用溫度范圍 (℃) 5~60
    配管連接口徑 Rc 1/4、歧管型
    壓力表連接口徑 (Rc) 1/4
    支架 標準配置(歧管型以外)
    質量 (kg) 0.45

    PAGETOP

    型號表示方法

    型號表示方法

    PAGETOP

    特性

    特性

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    外觀尺寸圖

    外觀尺寸圖

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    外国三级片